孟祥林的筆一直沒停下來：
“分光系統和掃描模組的採購我記下了，會後我拉個裝置清單，肖教授確認一下具體型號和引數。”
肖宿點了點頭，說道：
“第三項是奈米壓印潔淨間產線，必須百級的。
氣浮平臺、壓印模板、鍍膜裝置，這三個是一套的，少一個整條鏈就斷了。”
趙鐵軍這會兒已經徹底放開了，語氣比剛才又熱絡了幾分：
“肖教授，氣浮平臺我們有現成的，軍工標準的，隔振效能比你市面上能買到的高一個量級，做奈米壓印綽綽有餘，壓印模板的話……”
“模板得自己設計，”肖宿說，“超表面天線陣列的幾何圖案要根據最終確定的譜域對消引數來定製，沒有現成的。”
“那就涉及到電子束光刻做模板母版了，”韓柏巖插了一句，“航天那邊有臺JBX-6300FS，一百千伏的加速電壓，線寬能做到十奈米以下。做壓印模板的母版夠了。”
孟祥林抬起頭，推了推眼鏡：
“鍍膜裝置呢？金屬介質金屬三層結構的話，膜厚控制得在奈米量級，得用原子層沉積還是磁控濺射？”
“原子層沉積做膜厚控制更精準，”肖宿說，“但三層結構裡金屬層用電介質層用ALD的話，介面處的附著力可能有問題。
可以先上磁控濺射做第一輪工藝驗證，如果介面質量不行再換ALD。”
孟祥林點了點頭，又記了兩筆。
說到這裡，肖宿頓了頓，話頭一轉：“隱身衣的裝置基本就這些，不過，光刻機方案那邊還有一個東西，原理驗證需要一臺小型自由電子雷射器。
功率不用太高，但波長調諧範圍必須能覆蓋深紫外，不然多束相干合成的第一步實驗沒法做。”
趙鐵軍聽完這句，愣了一下，然後轉頭看看韓柏巖，又看看孟祥林，嘴角直接翹了起來：“這個我可就真的只能出錢了。”
韓柏巖也難得笑了一下：“趙處長別急著認，自由電子雷射器我倒是有門路。
航天科工跟中科院高能所合作過一臺小型的，原先是做空間光通訊實驗用的，波長從極紫外到近紅外連續可調，功率幾百瓦，後來專案結題了就一直放在高能所的實驗室裡，保養倒是沒斷過。
肖教授這個實驗幾百瓦功率可能還嫌大了，調低一些應該能用。”
“幾百瓦調低到實驗功率沒問題，加個衰減器就行，”肖宿說，“關鍵是波長的調諧精度和光束質量。
多束相干合成對波前一致性的要求很高，輸出鏡的波前畸變得控在幾分之一個波長以內。”
“這個我得回去確認一下那臺機器的輸出波前指標。”
韓柏巖收起笑意，認真地點了點頭，“明天之內給你答覆，如果不達標，看能不能加一套波前整形光路補償一下。”
“可以。”肖宿說。
孟祥林擱下筆，把剛才記的從頭捋了一遍：
“那我彙總一下，場地最少四百平米淨面積，六軸平臺從航天調，檢測系統光源航天出、探測器裝備部出、分光模組走採購，奈米壓印產線氣浮平臺裝備部出、母版用航天的電子束光刻機做、鍍膜裝置採購磁控濺射，自由電子雷射器從高能所調。
肖教授，還有漏的嗎？”
”。些這就前目“：想了想宿肖
