高長平走在肖宿側前方，一邊穿過裝置區一邊道：
“陳院士是我們專項的理論顧問，幹了一輩子光刻模擬了，國內這個領域的底子有一半是他鋪的，羅華研究員是陳老的得意門生，光學系統設計這一塊現在基本是他挑大樑，今天聯調正好輪到他們組，讓他給您先介紹一下情況？”
肖宿點點頭，沒什麼意見。
看到肖宿點頭，羅華有些激動的上前，走道肖宿的另一側，從口袋裡掏出雷射筆，一邊走一邊把幾個關鍵工位的佈局點給肖宿看。
“肖……肖教授，我……我先把我們目前的實驗進度和您同步一下。”
“目前，我們這套物鏡系統從設計到裝調已經迭代了三輪了。
第一輪迭代是驗證光路佈局的可行性，那時候鏡片還沒到位，用的是代用品，波前質量就不用提了，基本只是驗證了光路能走通。
第二輪是正式鏡片到位之後，我們按設計引數做了精密裝調，干涉儀測出來的波像差整體在公差範圍內，但邊緣視場的偏差還是比設計值要高出一截。
到第三輪，我們把邊緣視場的鏡片組單獨拆出來重新進行了裝調，結果這次邊緣是好了，可是中間又偏了，來來回回調了快一年了，整體波像差就是壓不到目標線以下。”
羅華的聲音挺奇怪的，有點一顫一顫的，每說完一段還會下意識地往肖宿那邊看一眼，直到肖宿投來一道略帶疑惑的目光，他才稍稍穩住心神，說話順暢了些。
他邊說邊走到物鏡裝調工位前，指了指六軸調整臺上那個一人多高的鏡筒說：
“這就是我們第三輪裝調的鏡筒。
您看，這是它的整個光路佈局，第一組透鏡負責把入射光準直聚焦，第二組是折反射鏡組，負責光路摺疊和像差校正，第三組是最後的成像放大組。
現在的問題出在第二組和第三組之間。
光經過折反射鏡的時候，空間相干性的均勻度被破壞了，到了第三組透鏡的時候，入射光的光瞳函式已經不是設計時假設的那個均勻分佈了。
我們在模擬裡怎麼也算不出這麼大幅度的非均勻化，但每次裝調完一測，資料就在那兒擺著，根本跑不掉。”
肖宿站在光學平臺前，隔著潔淨室的玻璃看向裡面的鏡筒。
他沒有立刻說話，目光從第一組透鏡的位置慢慢掃到第三組透鏡的出口。
“模擬用的光瞳函式是均勻假設？”
“對，”羅華點頭，“設計階段預設入射光在光瞳面上是均勻分佈的，這個假設在傳統光學設計裡是基本前提，我們也是照著這個來做的。
但實測出來的光瞳函式在邊緣區域還是存在明顯的衰減，中高頻還有一個區域性峰值。”
“這個峰值的位置穩定嗎？”
羅華愣了一下，轉頭看向旁邊負責測試的工程師。
那工程師趕緊翻了翻手裡的資料記錄本：
“前三次裝調，峰值在視場角零點三五度附近，第四次換了一批鏡片，峰值挪到了零點四一度，第五次又回到零點三六度，基本就在這個區間裡晃悠。”
“那問題就不是出在鏡片本身的加工精度上，”肖宿的目光從鏡筒上收回來，“如果峰值的空間位置隨裝調批次而漂移，那就說明它的來源不是某個固定鏡片的加工缺陷，而是整個光路在某個節點上的系統性偏差被逐級放大了，這個節點應該就在光路摺疊的地方。”
他走到旁邊那臺用於資料分析的電腦前，羅華趕緊跟過去，調出了光瞳函式的實測曲線。
螢幕上兩組資料疊在一起，一組是設計階段的均勻分佈假設，一條漂亮平滑的直線。
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