大半年的時間轉瞬即逝。
鄭東新區,長天光學實驗室地下核心實驗區。
穿過三道除塵風淋室,實驗室內常年保持著恆溫恆溼的嚴苛環境。
王立國穿著厚重的全封閉防靜電服,雖然隔著口罩,但依然能看出他眼底佈滿血絲的疲憊,以及根本按捺不住的狂喜。
在他面前的超精密減振臺上,安靜地放置著一個高達近一米、重達數百公斤的金屬圓筒。
這並不是什麼普通的金屬疙瘩,而是代表著人類光學制造工業皇冠上的明珠——光刻機投影物鏡系統。
“許總,我們成了。而且,比國家02專項原定的節點,還要快得多!”
王立國深吸了一口氣,對著身旁同樣穿著防靜電服的許晨說道,聲音因為過度興奮而有些沙啞。
許晨看著眼前的金屬圓筒,眼神明亮:“王院士,這就是咱們這大半年來,日夜不停加工出來的心血?具體引數走到哪一步了?”
王立國點了點頭,拍了拍金屬圓筒彙報道:“許總,其實國家在光刻機研發上早就佈局了。按照原本的進度,國內這兩年也就是勉強摸到90奈米節點的門檻,而且良品率和穩定性一言難盡。”
“但是,您弄回來的那臺漢斯原廠極精密裝置,加上天宇不計成本的資金砸下去,徹底打破了物理加工的瓶頸!目前擺在您面前的,是我們打磨出的國內最高水平的ArF(氟化氬)乾式光刻機投影物鏡系統。它的數值孔徑(NA),硬生生被我們推到了0.85!”
看到隨行的天宇高管面露疑惑,王立國主動用通俗易懂的話解釋起來。
“各位,光刻機的工作原理,就像是我們小時候玩的幻燈片投影儀。咱們的晶片圖紙就畫在幻燈片上,光線穿過這幾十片鏡片,把龐大的圖紙成比例縮小,精準地印在矽晶圓上。”
“如果說造航母是宏觀工業的巔峰,那這玩意兒就是微觀工業的神蹟。想象一下,你要把整個帝都市的詳細交通地圖,一比一不差分毫地畫在一粒大米上。這套物鏡,就是那支用來畫圖的筆。”
王立國指著金屬筒:“因為圖紙縮得太小了,光線穿過玻璃時會發生畸變。這套NA 0.85的鏡頭裡,每一片鏡片的表面平整度誤差,被我們磨到了亞奈米級別!什麼概念?如果把這片鏡片放大到整個地球那麼大,它表面的起伏高低,連一根頭髮絲的厚度都不到!”
隨行的高管們聽得倒吸了一口涼氣。
王立國繼續說道:“乾式光刻機的物理極限NA是0.93。咱們這套NA 0.85的鏡頭,已經完全能夠支撐65奈米工藝節點的晶片量產!如果配合上晶片廠的多重曝光技術,它甚至能去摸一摸45奈米的門檻!這比國家原定的90奈米目標,整整跨越了一個大臺階!”
“好!太好了!”許晨拍了拍王立國的手臂,“能把NA 0.85的乾式物鏡做出來,這就是咱們的入場券。先把65奈米的底子夯實,下一步咱們直接加水,去搞NA 1.35的浸沒式物鏡,向28奈米衝刺!”
許晨轉頭看向身後的陳立峰:“給王院士團隊的所有研發人員發獎金!從晨宇資本賬戶裡撥五千萬出來,作為這次攻克物鏡系統的專項獎勵!”
“我替同事們謝謝許總!”王立國也不客氣,搞科研的也是人,不僅要講情懷,更要講真金白銀。
……
許晨離開長天光學的無塵車間。
回到天宇集團總部的辦公室,許晨脫下外套,喝了一口水。
晨宇資本負責人陳立峰一同進入。
當初去長春找王立國談判,就是陳立峰帶著法務部骨幹一路跟進的。
許晨坐下,目光轉向陳立峰,“我之前交代你的另外兩件事,目前進展怎麼樣了?”
造光刻機,有三座大山。
光學物鏡系統、超精密雙工作臺、核心光源。
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