隨著周局長的指令下達,會議室牆壁上的廣播裡,傳來了下方實驗室主控臺的清晰迴音。
“各單位注意,初光測試正式啟動。”賀建國手持對講機,聲音沉穩,但微微發緊。
“光源系統啟動,193奈米雷射器預熱完畢,輸出功率穩定在60瓦。”
“深紫外物鏡系統自檢透過,鏡片溫控正常,應力消除完畢。”
“超精密雙工作臺就位,X、Y軸干涉儀校準完成,晶圓臺與掩膜臺同步鎖定。”
一系列生澀冷硬的工業指令在實驗室內迴盪。
會議室玻璃幕牆前,周局長、林副部長、科技部高層,以及許晨和陳立峰,所有人都不自覺地屏住了呼吸。
沒有人交頭接耳,目光死死盯著下方那臺龐大的機械巨獸。
“上片。”賀建國下達指令。
機械臂精準地夾起一片塗滿高分子光刻膠的十二英寸矽片,平穩地送入機器內部的工作臺上。
“對準系統鎖定。”
“開始曝光!”
賀建國重重按下了操作檯上的主控按鈕。
嗡——
一聲極具穿透力的低頻震動聲在實驗室底座響起。
天卓精密研發的雙工作臺開始以肉眼難以捕捉的極高加速度進行奈米級別的移動。
與此同時,頂端的光源模組瞬間激發。
193奈米的深紫外雷射穿過極其複雜的光路調節系統,射入造價數億的長天物鏡組。龐大的光束被極度壓縮,化作無形的刻刀,按照掩膜版上的電路圖紙,精準地劈在下方高速移動的矽片上。
整個曝光過程持續了不到兩分鐘。
但在會議室裡的眾人看來,這兩分鐘卻比一年還要漫長。周局長端著茶杯的手停在半空,一動不動;林副部長眉頭緊鎖,眼神緊繃。許晨面色平靜,但身側微微握緊的拳頭還是暴露了他內心的波瀾。
“曝光結束。晶圓下片。”
隨著機器的提示音,機械臂將曝光完成的矽片取出,迅速送入一旁的顯影液槽中進行定影處理。
幾分鐘後,顯影完畢的矽片被直接送到了實驗室最核心的量測裝置——高分辨掃描電子顯微鏡(SE的操作檯上。
賀建國親自坐到了顯微鏡前,雙手握住操作杆,將矽片表面的微觀影像投射到實驗室的中央大螢幕上,同時會議室的螢幕也同步接入了畫面。
畫面不斷放大。一萬倍、五萬倍、十萬倍。
原本平滑的矽片表面,此刻顯現出了一道道極其密集、平行的溝壑。這些就是雷射在光刻膠上雕刻出的電路蝕刻線。
賀建國的手指在鍵盤上快速敲擊,調出測量工具,將兩條紅色的基準線卡在了一條溝壑的兩端。
滴。
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