“八十度。”
“溼度?”
“百分之三十六。”
“繼續。”
李山河站在觀察窗外,沒看爐子裡的紅光,只盯著記錄員手裡的紙。
第一輪升溫完成,晶圓表面出現細小的氣泡,陳守仁把紙張揉成一團。
“停爐。”
高橋伸手攔住他,“還沒到終點,再看五分鐘。”
“你看那層膠,已經開始跑了。”
“停下來也救不回。”
李山河開口,“繼續。”
“李總?”
“把完整資料跑出來。”
爐內溫度升到二百八十度,監控屏上的曲線開始抖動,方誌遠撲到控制檯前,“二號感測器讀數偏低,實際溫度可能已經超過三百。”
高橋拔掉備用探頭,“換三號。”
陳守仁抓起對講機,“所有人離開爐門,電源切手動。”
滋!
爐膛裡傳出一聲細響,觀察窗上爬出大片白霧,機械臂停在半空,整盤晶圓表面泛起黑斑。
“斷電。”
高橋按下按鈕,電流聲拖了幾息才停。
陳守仁衝到爐門旁,手剛摸到扳手又收回來,“裡面溫度還沒降。”
李山河看向他,“開門。”
“現在開,空氣進去會把片子全毀。”
“不開,咱們連毀在哪兒都看不見。”
陳守仁咬著牙擰動扳手,爐門剛開出一條縫,白霧衝到走廊,帶著刺鼻的溶劑味。
高橋用夾具取出晶圓盤,最上面的晶圓已經裂成數塊,邊緣捲曲,剩下的片子全貼在金屬託盤上。
方誌遠盯著檢測屏,“線路邊緣燒穿,封裝點全部失效。”
陳守仁把夾具放回桌面,嘴唇上的裂口又滲出血來。
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