高壓汞燈瞬間點亮,熾白的光線經過複雜的光學系統,穿透掩模版,精準地投射在塗有光刻膠的矽片上。
裝置內部傳來冷卻液迴圈的水流聲和精密機械運轉的細微蜂鳴。
預設的曝光時間在緊張而寂靜的空氣中一秒一秒地流逝。
所有人臉上都不免閃過緊張與期待。
饒是沈永健也一樣,他對理論圖紙有信心,但最終組裝成的裝置也沒法一次保證能成,萬一有個別零件不合格等,都會影響這臺精密機器的運轉。
“叮!”
終於!
計時器清脆的提示音打破了沉寂,曝光結束。
沈永健立刻上前,小心翼翼地取下矽片。
卓邵文迅速準備好顯影液槽,當矽片浸入顯影液,經過短暫的化學反應和沖洗後,被放在高倍顯微鏡下。
沈永健第一個湊近目鏡,顯微鏡視野中,清晰地呈現出一組極其微小的,邊緣銳利的線條圖案。
正是掩模版上設計的電晶體電路圖形!
運氣不錯!
哪怕是這個不太穩定成功率不高的光刻膠,這次竟也一次便成,將圖案精確地轉移到了矽片上!
“成了!”
卓邵文緊接著湊上前朝目鏡觀察,也是第一個在這半夜的研製車間喊出聲。
聲音因激動而有些沙啞,疲憊的臉上瞬間被巨大的喜悅和難以置信的光芒點亮。
曹文三與曲嵩二人同樣興奮的上前確認。
最後就連劉師傅都在幾人興奮的起鬨下,湊近目鏡看了眼他完全看不懂的圖案,嘴上也跟著激動確認道。
“好啊!這是真整成了吧!?”
…
“是成了!”
沈永健言語中也透著股輕鬆,56型接觸式光刻機,可以說是國內第一臺真正的光刻機。
有了第一臺的成功,後續的再產便沒了壓力。
廠裡的電晶體車間也具備了真正投入生產的能力!
“小曹,曲嵩,你們倆今晚再加個班吧?”
“測試這臺機器的生產效率,還有目前的成功率。”
“明早,我跟邵文同志過來接替你們。”
…
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