2015年10月10日,國慶長假剛過。
與往年許浪回粵省老家過節不同,今年兩家的父母都被接到了京都。
國慶期間,蘇清璇跟著4位長輩逛了故宮、頤和園,吃了正宗的掛爐烤鴨。
好在蘇清璇雖然也在網路上有著不少的知名度,但即便都是跟著許浪一起出現,此時單獨出現,再加上經過一點化妝,還真沒人能夠看出來,這一位帶著4位長輩的年輕絕美的少女,就是現在的首富太太。
這一次之所以把父母們接過來,主要是因為許浪實在脫不開身,從8月開始,許浪就帶著整個南天門計劃團隊,幾乎紮在京都的一處國家級半導體實驗基地裡。
南天門計劃極紫外(EUV)光源聯合攻堅的核心車間內,魔都微電子與多家科研所的技術骨幹在這裡封閉攻關了近兩個月,此時已經來到了最後的關頭。
按照EUV光源的物理邏輯,液滴發生器每秒要噴射出數萬個直徑僅幾十微米的熔融金屬錫液滴,系統需要先用一束低能量的預脈衝雷射將下落的液滴轟成扁平圓餅狀,緊接著用主脈衝高功率雷射精準擊中,將其瞬間電離成等離子體,從而激發出13.5奈米波長的極紫外光。
但在連續運轉測試中,集光室內的雷射聚焦光斑總會出現微米級的週期性漂移,導致最終都是差一點無法完成。
超淨實驗室內,幾名工程師負責人穿著白色無塵服圍在主控臺前,螢幕上閃爍著密密麻麻的溫度梯度圖與高速相機回放。
許浪站在主光路除錯臺旁,手裡拿著剛才連續10組的感測器日誌,憑藉大腦中構建的三維物理熱力學模型,慢慢地鎖定問題的根源。
良久,許浪緩緩地吐出一口氣,隨後轉頭對旁邊的光學組負責人。
“不用重新校準主雷射器,把第三級平凸擴束鏡的偏轉補償角反向微調0.03毫弧度,避開基座的二階固有振動頻率......”
許浪快速地給出了自己的建議,甚至細節到了相關的步驟。
“明白。”面對這一幕,光學工程師沒有任何猶豫,立刻拿起精密微調扳手,盯著千分表小心翼翼地下刀。
眾人沒有絲毫懷疑,就好像這一幕已經發生過無數次,每一次許浪都能帶領眾人不斷地推動著實驗過程。
就這樣,整個實驗過程在許浪帶領下,全體工程師們的配合下,進度一點點地開始推進。
許浪不時會停下來觀察各種相關資料,隨後閉眼進行思考,隨即提出幾個測試方向。
而工程師們也會全力配合,不斷地進行測試和改進。
不知不覺間一個下午過去了,面對著越發接近的成功的進度,眾人都忘記了疲勞,全神貫注地認真盯著試驗檯,不敢有著一點鬆懈。
隨著最新的指令下達,在高速相機的監測螢幕上,每秒五萬顆液滴如雨點般規律墜落,預脈衝雷射精準將其拍扁,主脈衝緊隨而至,螢幕中央亮起了一團極其穩定且刺眼的藍色電離光團。
“命中率99.8%。”
“收集鏡表面未檢測到二次飛濺殘留。”
“連續輸出功率突破200瓦等效閾值,光斑漂移量低於0.5微米......”
頓時,監控臺前頓時響起了一陣壓抑許久的歡呼聲,眾人情不自禁地站起身歡呼著。
幾位熬紅了眼的資深光學專家長長舒了一口氣,摘下防護手套,紛紛走上前,滿眼的激動。
“許總,這套熱補償和氣壓配比抓得太準了,直接省了我們至少兩個月的盲測排查,太感謝了”








