《讓你攻略校花,你卻要當科技教父》第286章 中芯的接管(1)

作者:我想養只大熊貓·12天前

中芯會議室,長條桌旁坐滿了中芯的核心工程師。

此時眾人或好奇、或質疑地打量著眼前的年輕人,雖然眾多技術人員都知道,中芯的江先生病重,公司的負責人肯定是需要更換的。

但看著眼前20歲出頭的年輕面孔,眾人心裡都在打鼓,甚至害怕中芯好不容易搞起來的成績,會被這個年輕人給敗光。

許浪看著眾人,也明白眾人的想法,臉上依舊露出那副淡淡的笑容。

“我叫許浪,熊貓科技創始人,微聊科技創始人,大家應該或多或少聽過我的名字。目前中芯有我的股份,我會帶領你們完成40n良品率突破和量產。”

現場瞬間一片譁然,大家確實聽過許浪的名字,龍國首富、熊貓手機、國產作業系統、第一個國內40n片的晶片,還有不少人手機上用的微聊。

但即便如此,即便許浪確實很厲害,那依舊是一個外人,這樣的外行要怎麼領導眾人完成技術突破?

許浪也看出了眾人的質疑與不信,也沒打算繼續解釋,畢竟再多的解釋,也不如事實來得有效。

直接把筆記型電腦連線到投影儀上,眼神認真地看著眾人。

“好了,其他的話就不多說了,這幾天我已經看過了中芯40n部的研發和生產資料了,具體的裝置操作我肯定不如各位熟練,但技術的底層邏輯是相通的,我相信所有的工藝波動最終都會反映在資料上,我們現在最重要的就是摸清問題所在。”

很快,投影上出現了大量的資料,各種密密麻麻的數字和曲線,要是不懂的人,肯定會看得眼花繚亂,好在現場全都是技術骨幹,自然能夠看懂這些資料。

“過去三個月,我們一共生產了127批晶圓,報廢了69批,我把所有報廢原因做了分類統計,權重從高到低依次是:光刻對準誤差32%,離子注入均勻性27%,C工藝缺陷21%,其他問題20%。”

許浪看向研發負責人老李。

“李工,你剛才說光刻對準誤差是機械固有誤差,目前無法找到問題,那為什麼晶圓中心區域的對準偏差只有2n邊緣區域卻有8n如果是固有問題,應該整個晶圓都一樣才對。”

老李愣了一下,沒想到許浪居然會問出這麼專業的問題,好一會兒才反應過來,支支吾吾地解釋著。

“這個......這個我們也發現了,但一直沒找到原因,可能是晶圓傳送的時候變形了。”

“嗯,這個確實有可能,到時候檢視一下相關熱成像。晶圓在光刻前會被加熱到100℃,傳送過程中要是冷卻不均勻,在熱脹冷縮下自然會導致變形,再加上光刻機的機械誤差,或許這就是誤差的來源。我只看到你們一直在調機械引數,卻從來沒考慮過溫度的影響。”

眾人都愣住了,所有人臉上寫滿了震驚,難道眼前這個年輕人是真的懂嗎?要是不懂的話,也問不出這麼專業的問題。

許浪不理會眾人的驚訝目光,繼續打開了下一頁的資料,看向了另一個負責人。

“王工,離子注入的均勻性問題,你們一直在調注入劑量和掃描速度,那你們有沒有測過晶圓表面的溫度分佈?離子注入時,晶圓中心溫度比邊緣高一些,溫度越高離子的射程越遠,摻雜濃度自然就越高,不控制溫度的影響,永遠不可能做到均勻。”

說罷,不等王工解釋,許浪又轉向C組的負責人。

“張工,C的碟形缺陷,你們一直在換拋光墊和拋光液,這是為什麼?”

張工一愣,雖然不知道許浪為什麼問這個,但還是快速解釋著。

“許總,國產拋光液就是不行,臺電用的那款我們又買不到,只能採用這種方法。”

“嗯,不一定是拋光液的問題,我看過你們提交的資料,你們的拋光頭壓力分佈是均勻的,但中心區域的拋光速率比邊緣快,或許可以嘗試一下把中心壓力調低,邊緣壓力調高。”

許浪不停地介紹著,一個一個困擾的問題都被許浪點出,雖然其中不一定就是最終的解決方案,但確實給到了眾人很多新的思路。

本來這些技術骨幹看到一個如此年輕的人成為了中芯的臨時負責人,哪怕對方是熊貓科技負責人、龍國首富,但心裡依舊有著不少芥蒂。

雖然對方地位高也有錢,但半導體和晶圓代工跟網際網路可不一樣,涉及到的知識根本不是同一個層次的。

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