他們太熟悉肖宿這個狀態了,這是他在深度思考數學問題時的專注模樣。
平時肖宿雖然話不多,但一旦進入這種狀態,就意味著他發現了什麼值得深究的東西。
過了一會兒,肖宿才緩緩開口,聲音依然平靜,卻帶著某種確定的意味:
“他展示的第三組驗證資料,光刻膠收縮率的修正係數,給的是0.47。”
肖宿頓了頓,似乎在組織語言,讓非專業的室友也能理解:
“在EUV光刻中,光刻膠受曝光後會發生收縮,這個收縮率需要精確補償,否則圖案會失真。佐藤的框架裡,有一個專門的修正項來處理這個問題。”
“他給出的資料是,在5奈米節點下,經過他的正則化框架最佳化後,收縮率修正係數可以穩定在0.47,波動範圍小於±0.02。”
周宇軒聽得雲裡霧裡:“所以呢?這個數字有什麼問題?”
肖宿轉過頭,看著三位室友。
他的眼神清澈而專注。
“問題在於,”肖宿緩緩說道,“根據他前面給出的光學模型引數和材料特性資料,透過標準的波動方程和熱傳導耦合計算,收縮率修正係數不可能低於0.52。”
“他給出的0.47,比理論下限還低了10%。”
肖宿的話音剛落,宿舍裡的沉悶瞬間被打破,取而代之的是一種壓抑不住的躁動。
周宇軒拍著大腿,差點把椅子帶倒,語氣裡滿是狂喜,又帶著點急不可耐:
“肖哥!你這話是認真的?也就是說,那佐藤健一郎可能是在吹牛皮,資料都是瞎編的?”
陳林也反應過來,他雖然不是光刻專業的,但紮實的數學物理基礎讓他立刻明白了肖宿話中的含義:
“你是說……他的資料造假?”
“不一定。”
肖宿搖了搖頭,依然保持著學術上的嚴謹,“可能是計算錯誤,可能是實驗誤差沒有被充分考慮,也可能是他用了某種非常規的假設沒有在報告中說明。”
“但無論如何,”
肖宿看向電腦螢幕上佐藤健一郎自信滿滿的臉。
“一個與基礎理論預測偏離如此之大的資料,在沒有充分解釋和驗證的情況下就公開展示,並且以此為基礎宣稱‘完美解決’,這在學術上是極其不負責任的行為。”
林思源已經激動地跳了起來:
“那這不就是他的漏洞嗎?!我們可以揭穿他!”
周宇軒也興奮起來:
“對啊宿哥!如果你能證明他的資料有問題,那他不就打臉了嗎?什麼‘晶片數學之神’,資料都算不對還神個屁!”
肖宿卻依然平靜:
“我需要完整的論文和實驗資料,才能做嚴謹的分析。影片裡展示的資訊太有限了。”
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