他看得很仔細，目光在幾組鍍膜均勻性資料和表面粗糙度測量結果上停留了好一會兒。
這個區域的工作主要是對光學元件做入廠檢驗和定期複檢，檢測標準和流程都很成熟，只是工藝穩定性上還有提升的空間，但這些都依靠工程積累，如果不是從底層設計上全盤更改，那技術上是很難再有質的提升的。
從光學實驗區出來，一行人穿過走廊，來到工件臺聯調區。
這個區域比剛才的光學實驗區大了不少，幾臺工件臺正在各自的工位上跑著不同的測試工況，雷射干涉儀的顯示屏上跳動著奈米級的位移資料，空氣中還飄著一股導軌潤滑油和電機線圈發熱混合的味道。
高長平微微抬手示意，跟在身後的負責人鄧威連忙上前介紹道：
“肖教授，我是聯調區的負責人鄧威，那我先給您介紹一下我們目前最新的聯調進展吧。”
他走到控制檯前，調出了即時監控畫面，上面出現一紅一藍兩條位移曲線，紅的是曝光臺，藍的是測量臺。
兩條曲線在時間軸上的交接點乾淨利落，幾乎沒有重疊和等待間隔。
“這是我們最近剛最佳化的雙臺交替排程策略。
原來兩個臺子切換的時候，曝光臺要等測量臺全部退出曝光區之後才能進場，中間浪費的時間佔了整個曝光週期的百分之十二。
我們後來把切換時序重新規劃了一遍，讓曝光臺在測量臺退出的同時就開始進場，兩臺子在高架軌道上擦肩而過，切換間隙就從原來的一百二十毫秒壓到了十五毫秒，產能直接提升了將近十個百分點。”
他邊說邊在螢幕上放大了一段切換過程的位移曲線，兩段弧線在交會處幾乎是貼在一起的，中間那條若有似無的縫隙被他用指尖圈了出來。
“就這一小段，我們磨了快兩個月，現在整機的產率已經能做到每小時兩百片以上了，跟國外主流機型的差距也縮小個位數百分比了。”
肖宿看著螢幕上那兩條幹淨利落的位移曲線，點了點頭。
這套雙臺交替排程的思路確實做得不錯，用極短的交接間隙換取產能的線性提升，在工程排程層面已經最佳化到了接近理論極限了。
鄧威見肖宿點頭，臉上的表情更放鬆了些，又調出另一組資料。
螢幕上跳出來的是工件臺在勻速掃描段的定位誤差分佈，一條几乎貼在地板上的平滑直線，縱座標的誤差值全程壓在正負兩奈米以內。
“這是我們勻速段的定位精度，”鄧威的語氣裡帶著不加掩飾的自豪，“正負兩奈米以內，重複定位精度已經做到了一奈米以下。
雷射干涉儀的取樣頻率也提到了十千赫茲，位移解析度零點三奈米，單看靜態指標和勻速段指標的話，我們已經追平了國際上同級別機型的最好水平了。”
他說著，手指在螢幕上那條誤差分佈曲線上從左劃到右，整條曲線幾乎是一條完美的平線，只在中間有一處細微的波動，幅度不超過一奈米。
“這一處波動我們排查過，是空調機組的壓縮機啟動時產生的地面微振動傳導上來的，後來給空調機組加了隔振基座，波動就消失了。”
肖宿微微頷首。
高長平站在旁邊，臉上的笑意已經藏不住了。
他雖然不是技術出身，但聽了鄧威這一串資料，也知道這套工件臺在常規掃描效能上已經做到了國際一流水平。
這個成果拿到任何一個專項評審會上去彙報，都是能拍胸脯的成績。
“不錯。”
肖宿終於開口了，評價很直接：
“排程策略和勻速段精度都做到了接近理論極限，再往上最佳化的空間已經不大了。”
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