“你勻速段的控制演算法用得不是很好嗎，換向段為什麼不用同樣的策略？”肖宿問。
鄧威苦笑了一聲，說道：
“不是不想用，是換向段的受力結構完全變了。
勻速段我們用的是前饋加反饋的複合控制，前饋模型可以精確補償導軌的摩擦力矩和驅動電機的推力波動，因為勻速段的負載變化是準靜態的。
但換向段的瞬間載荷方向翻轉了一百八十度，驅動電機的電磁力、導軌的摩擦力、檯面的慣性力三個量同時在翻轉點突變，突變的耦合時間不到五毫秒，遠快於前饋模型的更新週期。
模型跟不上，反饋來不及補，尖峰就上去了。”
肖宿聽完，沒有立刻說話。
他低頭看了一眼那幾組驅動電機的電流波形，目光在換向節點處停了一下，抬起頭說：
“控制演算法的思路是沒錯的，問題在於換向過程中的源頭受力變化太快，演算法跟不上。
如果要解決這個問題，或許應該從換向軌跡本身去想辦法。”
鄧威和身後的研究員同時眼睛一亮，連忙湊上前去:“變換軌跡？如果是這樣的話，我們應該……”
……
一圈轉完，已經接近中午了。
高長平把肖宿送到車旁，站在車門邊上又說了好一長串話，看他的眼神比早上還要熱切。
肖宿還是不適應這麼熱情的交流，板著臉點了點頭，說了句“文件這兩天高長安給你們”，就彎腰上了車。
車子駛出園區大門的時候，肖宿靠在座椅上，腦子裡還在轉剛才在物鏡裝調實驗室看到的那一幕。
無論是定量分析、光學設計軟體，還是有限元網格收斂，雖然表面上看每一條都是具體的工程困難，但把它們放在一起，肖宿看到的卻是一個更底層的共同瓶頸。
光刻物鏡的波前最佳化、光源的相干性均勻度、工件臺的換向瞬態，表面上是三個互不相干的子系統問題，但它們在數學上全卡在了同一個地方，那就是高維多變數耦合系統的全域性最佳化。
傳統光學設計的工具箱裡，沒有專門處理這種耦合的工具，所以每個子系統只能在自己的區域性空間裡反覆試湊。
區域性試湊碰到耦合問題，就像一個人在一個房間裡調傢俱的位置，但傢俱的另一頭連在隔壁房間的牆上，他怎麼調都對不齊。
即便是他剛才給羅華寫的那個譜域對消方案，也只能解決單個子系統的最佳化效率問題。
它可以幫羅華把光瞳函式修正的計算時間從幾個月壓縮到幾天，可以把波像差的校準精度提上去，但它改變不了一個事實，那就是這套光刻系統的整體架構，從一開始就不是為了全域性協同最佳化而設計的。
光源、物鏡、工件臺是三個獨立設計的子系統，透過介面拼在一起，介面上的耦合誤差只能靠反覆聯調去磨。
磨得好是經驗，磨不好是常態。
這就是為什麼羅華他們調了快一年，整體波像差還是壓不到目標線以下。
不是他們不夠努力，也不是數學工具不夠好，是這套架構本身的協同天花板就在那兒。
肖宿把目光從車窗外收回來，拿出手機，在備忘錄上打了幾個字。
光源物鏡工件臺協同最佳化、全域性耦合函式、EUV光源替代路徑。
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