既然知道需要什麼了，肖宿立馬著手，把之前譜域對消框架裡的圖拉普拉斯譜分解做了擴充套件。
在原來的框架裡，圖上的節點是同一類物理實體，比如超表面上的奈米天線，或者物鏡裡的一片片透鏡。
但在新框架裡，圖的節點可以來自完全不同的物理子系統，光源的雷射器是一個節點，物鏡的鏡片是一個節點，工件臺的驅動電機也是一個節點，它們之間的耦合關係用不同物理量的交叉傳遞函式來描述。
這個異構圖的拉普拉斯矩陣一旦做譜分解，整個光刻系統的全域性最佳化就變成了在模式空間裡找一個聯合極小值。
但是光有最佳化框架還不夠。
即便把三個子系統的協同做到了極致，193奈米浸沒式光刻的物理極限還是在那兒擺著，38奈米的解析度極限不會因為最佳化做得好就自動突破。
要真正實現質的飛躍，必須把工作波長縮短。
EUV是現成的短波長方案，但EUV光源的效率問題一直是死結。
肖宿翻了翻高長安那份材料裡關於EUV光源的章節，又搜了幾篇近兩年發表在光學頂刊上的錫等離子體光源效率分析論文，越看越覺得這條路的方向本身就選得不太對。
錫等離子體產生極紫外光的能量轉化效率只有個位數百分比，大部分泵浦能量全變成了熱，要維持穩定的光輸出就需要龐大的冷卻系統和超高功率的驅動雷射器，整套光源系統複雜到堪比一座小型電站。
他放下手裡的論文，拿起筆在草稿紙上畫了一個新的拓撲。
有沒有可能不依賴錫等離子體，也不依賴傳統的193奈米深紫外雷射器，而是走另一條路呢？
比如，用一個短波長自由電子雷射器陣列做光源，用多個獨立可控的雷射束從不同角度同時照射掩模，再透過一個即時的波前協同控制系統把多束光在晶圓面上合成一個單一的、相位精確對齊的曝光光斑。
這個思路的核心在於把光源輸出高功率短波長光這個傳統難題，轉移到了多束中功率光在目標平面上相干合成這個可控性更強的數學問題上來。
自由電子雷射器可以產生從深紫外到軟X射線波段的高亮度光，單束功率不需要做到像EUV驅動雷射器那麼高，因為最終的高功率是透過多束相干合成來實現的。
而合成效率的關鍵在於每束光的相位控制精度，這恰好是譜域對消框架最擅長做的事。
越想方法越多，肖宿埋頭，在草稿紙上飛快地畫著示意圖。
在掩模的上方是一個環形陣列的自由電子雷射器出射口，每束光經過獨立的光程補償器和波前整形器，再透過一個共同的物鏡系統匯聚到晶圓表面。
光程補償器的控制訊號由一個即時的波前感測器陣列反饋，反饋演算法用的就是擴充套件後的譜域對消框架。
整個系統裡沒有EUV光源那種效率極低的錫等離子體過程，也沒有193奈米浸沒式光刻那種需要反覆曝光、反覆對準的多重曝光流程，將會節省更多的時間，成像質量也會隨之上升。
單次曝光的解析度理論上可以推到接近光源波長的衍射極限，而自由電子雷射器的波長是可以連續調諧的，從深紫外一路調到軟X射線都沒問題。
他把這套新架構從頭到尾推了一遍，從光源陣列的排布拓撲到波前協同控制的核心演算法，再到工件臺的全域性定位誤差補償策略，每一步的數學骨架都寫在了紙上。
推完之後他沒耽擱，隨手把草稿紙上的內容整理歸納，改成了一份正式文件。
《基於自由電子雷射器陣列與全域性協同最佳化的新型光刻系統設計方案》
“現有193n沒式光刻的瑞利解析度極限為R=k1λNA，其中k1≈0.25為工藝因子，NA≤1.35，可得R≈38n極紫外（EUV）光刻雖將波長縮短至13.5n但其錫等離子體光源的能量轉換效率η=PEUV/Plaser≈2%～5%，且多層鉬矽反射鏡的反射率r≤70%，導致有效光功率不足……”
他先在摘要的部分簡要說明了一下現有光刻技術在光源效率和子系統協同兩個維度上的瓶頸，以及新方案如何透過多束相干合成和異構耦合全域性最佳化來繞開這些瓶頸。
正文部分則是按光源陣列設計、波前協同控制、全域性耦合最佳化、工件臺動態補償這四個章節依次展開，每一章都附了相應的數學推導和引數邊界估算。
整份文件不算長，但資訊密度很高。
。來進了安長高把，包打起一稿草文論的篇那前之和件文份這把他後之完寫
。來出拿裡機表印從料材份兩把正宿肖，候時的來進門敲安長高
。同不麼什沒倒時平和氣語，安長高給遞料材把他
。去部技科到送我幫你，案方新的機刻是份一，料材份兩這“
”。了請申題課把我幫天今，文論的料材超形於關是份一另
。份那的面上最了開翻先地慣習，料材過接安長高
。地原了在釘他把就話句一第要摘，頁一第開翻果結
。”列陣雷子電由自“
。了錯看己自為以，下一了愣他
。變沒是還字，去看睛眼眨了眨他可
……”化則正疏稀“”化佳最合耦域全“”化佳最同協域全“”合干相束多“：窮不出層彙詞能高種各，眼一了掃下往又他
。裡案方計設的統系刻份一同在拼被能還然竟們它，過想人有沒來從，說該應許或，過想沒來從他可，道知都然當他詞些這
。移下往地字個一字個一，始開行一第從，湊了湊前眼往紙頁那把地識意下他
。點一化變地妙微就表的上臉他，句一讀多每
。地原了在怔樣一鍵停暫了按被是像人個整，邊旁式公個一在停指手的他，候時的章一那制控同協前波到翻
。整的整完個一了為融然渾此就，輯邏算運套三的通連不互、立獨自各本原，式方演推的解分譜陣矩斯拉普拉圖助藉，後最，態模算運立獨解拆層逐路思的見未所前種一用再，系算運個一同了納部全度由自有所的統系子大三臺件工、鏡、源將接直宿肖，裡這在
。西東個一同了給式公個一被然竟在現，起一到不擰都麼怎、偏也我偏你、也我你是前以，組模個三
。值價上無的藏蘊線路究研條這了白明馬立是還也，式算個這懂不看怕哪安長高
。了吸呼的己自到不覺要都乎幾他
。了瘩疙皮起都渾他讓直簡，用運論理的青純火爐上加再，思構的的空行馬天宿肖
。了飛起勢順，先領現實躍一，路道的新全條一出闢開接直是而，了題問的趕追不趕追是不就技刻的國華，地落能的真案方套這果如
