光刻膠的收官戰,打得比所有人預想的都快。
冬天過去,春天來的時候,朝陽研究院的白板上,三個圈,圈完了兩個半。光學系統,去年就破了,波前誤差壓到0.3奈米,蔡司的首席工程師看完說你們瘋了,回去就跟阿斯麥簽了排他協議。計算光刻,模型迭代到第四版,反向演算工藝視窗的速度,把國外的商業軟體甩開了一個身位。
就差光刻膠,從“能用”到“管夠”這一步。
這一步,比“能用”難走得多。實驗室裡做出一瓶合格的膠,和產線上每個月穩定吐出幾十噸合格的膠,是兩碼事。批次穩定性這四個字,研究院和南大光電的工程師們,拿命磨了小半年。金屬雜質要壓到十億分之一以下,廠裡的老師傅說,這相當於在一個標準游泳池裡,連一滴髒水都不能有。
最難熬的是一月,連續三個批次,線邊粗糙度莫名其妙地超標。團隊把上百個變數挨個排查,查到第七天,發現是原料樹脂的一個供應商換了乾燥工藝,水分含量偏了萬分之一。就這點偏差,一整爐膠全廢。
從那以後,南大光電把上游供應商全部過了一遍篩子,能換的換,能自己乾的自己幹。
三個月,產能從一個月幾噸,爬到幾十噸。中芯國際的採購總監親自坐鎮無錫,長單一簽三年。
日本人不是沒有警覺。
年初的時候,東京應化的會長上過一回電視節目,主持人問起中國的光刻膠,老爺子擺擺手,笑得很有底氣。
“高階光刻膠,不是有錢就能做出來的。”他說,“樹脂的分子量分佈,光酸的純度,四十年的資料庫,這些東西,中國人十年內別想突破。他們就算造出再先進的光刻機,沒有我們的膠,那些機器,就是一堆廢鐵。”
這番話說完,日本國內一片歡騰。媒體標題起得一個比一個提氣:《光刻膠,日本最後的驕傲》《中國十年追不上的一釐米》。有專家在節目上跟著幫腔,說材料科學是時間的藝術,中國人沒有那個耐心。
國內也有人看到了這期節目,截圖轉回來,配上兩個字:等著。
這話說完不到一百天,四月十六號,南大光電開了個釋出會。
會場不大,請的人不多,可來的都是硬角色。中芯國際、長江儲存、華虹,國內排得上號的晶圓廠,一把手全到了。
釋出會就公佈了三件事。
第一,高階ArF浸沒式光刻膠,正式量產。大螢幕上放出了第三方檢測機構的報告,線寬粗糙度、缺陷密度、靈敏度,逐項對標國際一線產品,有兩項還反超了一截。
第二,產能。新產線全開,一年夠餵飽國內七成的高階需求。
第三,價格。大螢幕上打出這個數字的時候,底下一片抽氣聲。
市場價的三分之一。
價格能打到這麼低,不是賠本賺吆喝。配方是大模型算出來的,研發攤銷比人家四十年的積累薄得多;原料全國產,不用看人臉色;產線是新的,效率高。三條加在一起,成本就擺在那兒。
江陽也來了,坐在第一排,從頭到尾沒上臺。有記者認出了他,話筒懟過來問感想,他就說了四個字。
“水到渠成。”
釋出會結束,南大光電的食堂裡擺了十幾桌。研究院的研究員、產線上的工程師、還有從各條戰線趕來的老熟人,坐得滿滿當當。有人喝著喝著就哭了。那個把關原料的老師傅端著杯子挨桌敬,說兄弟們,咱們這瓶膠,以後再也不用看別人臉色了。
有人當場算了一筆賬。光刻膠成本打下來三分之二,一片晶圓的製造成本,直接砍掉好幾個點。晶片這行當,幾個點就是生死線。
釋出會開到一半,訊息已經傳遍了全球。東京那邊是晚上,據說東京應化的總部大樓,那一夜的燈就沒滅過。
第二天開盤,東京股市崩了。
東京應化,跌停。信越化學,跌停。JSR,跌停。日本股市的半導體材料板塊,一天蒸發掉一箇中型城市一年的產值。
這還只是開始。
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