江陽當天就飛了上海。去機場的路上,他把研究院那幾個年輕人的資料,在腦子裡過了一遍。
總裝車間裡,那臺浸沒式光刻機靜靜地立在廠房中央,幾層樓高,渾身包著銀灰色的外殼,像一頭沉睡的巨獸。
五月份立起來的骨架,除錯了小半年,卡在最後一道關口上,卡了整整三天。
周總工的眼睛熬得通紅,張標的嘴上起了泡。車間裡十幾號專家,圍著工件臺,菸灰缸堆成了小山。
問題說大不大,說小不小:工件臺對準的時候,抖動超標。
工件臺是光刻機裡最精密的運動部件,馱著晶圓做高速掃描,定位精度要到奈米級。
現在的問題是,每次對準,臺子都有細微的抖動,幅度0.1奈米出頭。
0.1奈米,頭髮絲直徑的幾十萬分之一。聽著微不足道,可光刻這東西,是把上百層的電路圖形一層一層疊著往上刻,這一層偏了0.1奈米,幾十層疊下來,晶片上的線路就全錯位了,一整片晶圓幾千顆晶片,全是廢品。
阿斯麥的機器,這個指標常年壓在0.05奈米以內。咱們的標準,也是0.05。現在超了一倍。
就差這0.05奈米,整機驗收過不了,交付就得延期。
外面多少雙眼睛盯著這臺機器,延期一天,閒話就多一籮筐。
專家組吵了三天,吵出三派。一派說是減振系統不行,要換。
一派說是控制演算法的頻寬問題,要重寫。還有一派懷疑是測量系統本身有鬼,先查儀器。三天換了三套方案,抖動紋絲不動。
“江陽,你上手吧。”周總工把資料拍在他面前,“老師傅們沒招了。”
江陽翻了翻那幾頁資料,沒接。
他抬起頭,看了看車間裡那幾張年輕的臉。徐子晴、周明宇、文月,幾個研究院的骨幹,都是從朝陽中學最早那幾屆出來的學生,這會兒正站在人群外圍,想說話又不敢說的樣子。
“這題,我不解。”江陽說。
滿車間的人都愣了。周總工急了:“都什麼時候了,還鍛鍊隊伍?”
“就是這個時候,才最鍛鍊隊伍。”江陽說,“老周,你想過沒有,這臺機器交付了,後面還有第二臺、第三臺,還有下一代。我總有不在的時候,他們能靠誰?”
“我要是次次都自己上手,”江陽把資料遞給徐子晴,“他們永遠長不大。這臺機器以後是要靠他們扛的,不是我。再說了,他們缺的從來不是本事,是獨當一面的機會。”
周總工張了張嘴,把話嚥了回去。
他把任務當場拆開。徐子晴,把工件臺的運動控制模型從頭推一遍,別信任何現成結論。周明宇,去查熱管理,溫度這條線,一度一度地給我捋。文月,模擬模型是你搭的,回去把它拆了,找找裡面藏了什麼想當然的東西。
拆完題,他又補了一條規矩:三條線各幹各的,不許互通訊息,誰也不許先入為主。
有老專家不理解,說這不是耽誤工夫嗎。江陽說,就是要互不干擾。三條線要是得出同一個結論,那才叫真的找到了。要是互相商量,跟風的成分就大了。
“老師,那我們呢?”有人問。
“山河一號我留給你們。”江陽說,“把你們的發現都餵給它,讓它出解耦方案。三天,我要結果。”
徐子晴抱著一摞資料回了實驗室,這一推,就是一個通宵。
她當年是朝陽中學第一屆的學生,中考失利進的十一中,誰都覺得這孩子這輩子就這樣了。後來她考進水木,博士畢業,哪兒的橄欖枝都沒接,一頭扎回研究院。同門問她圖什麼,她說,我的命是江老師撿回來的,他的事,就是我的事。
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