沈永健屏住呼吸,手中動作愈發沉穩。
特製的光學鏡頭被精密夾具懸吊,他不斷調整著微米級的定位螺桿,直至鏡筒與基座介面紋絲咬合。
“咔噠~!”
一聲低低的脆響在此刻穿透車間。
物鏡嚴絲合縫地嵌入光刻機主體。
“成了!?”
劉師傅乾啞的嗓子喃喃自語道,帶著汙漬的手在工裝褲上狠狠攥緊。
卓邵文蠟黃的臉上雙眼血絲依舊,自從負責光刻機後,對方一樣是這次專案研製中,投入精力最多工作時間最長的一位。
此刻目光緊盯著才組裝完成的步進式光刻機,心中既興奮又緊張。
餘下眾人站在數米開外,此刻同樣興奮。
沈永健當下並未著急,而是環顧這臺大傢伙周身,又細細檢查了一圈。
這才在眾人的注視下,按下了總控開關。
“嗡——!”
低沉的共振聲從機箱深處傳來。
汞燈的冷光霎時亮起,透過嶄新的物鏡在矽片承載臺上投下一圈光斑。
氮氣吹管嘶嘶低鳴,冷卻水迴圈系統平穩執行。
步進電機發出精準的“嗒嗒”聲,工作臺沿導軌滑出流暢的直線,控制面板的指示燈不斷閃爍後,最終平穩下來。
“邵文同志,先進行投影解析度測試。”
沈永健沉穩地發出指揮,卓邵文立刻到操作檯前,將校準掩膜版推入光路中。
下一刻汞燈亮度瞬間提了好幾度,經過多層透鏡組的聚焦,最終在投影屏上炸開一道深紫色的光錐。
而顯微鏡的目鏡之中,0.5微米的測試線條纖毫筆直,邊緣銳利。
顯然,北春光電所的物鏡完美達標,且這一路運來也未讓這物鏡有任何的磕碰偏差。
“投影解析度測試透過!”
第一項最重要的測試透過,在場眾人都悄然鬆了口氣。
劉師傅更是咧嘴笑了起來,露出長期抽菸的黃牙,沙啞低語道。
“我就猜能過!”
“這臺可比咱們原先的機子亮堂多了!這光刺得我眼睛都睜不開!這要是都不透過都沒天理了!”
聞言,其餘同志也跟著附和起來。
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