到了積體電路,雖然工藝思路上還是‘平面工藝’那套,但實際的工藝和流程會複雜太多。
電晶體那時還無需“流片”,而到了積體電路這塊,流片算是整個積體電路成不成功的決定性標誌。
尤其是越大規模的整合,“流片”的難度也會以指數級上升!
…
五天後,國慶的慶典在首都剛過。
今年沈永健同樣受到了邀請,只是因為流片的掩膜版工作原因,最終是放棄了出席。
好在首都微電子廠還有張廠長作為代表前去出席,同時廠裡的二代電視機也再次成為獻禮產品。
一連三年,微電子廠已然成為獻禮專業戶。
當然,今年國慶獻禮之中最亮眼的並非是電視機或者冰箱這種家用電器,而是國內重工業的又一項突破,紅旗轎車!
報紙和新聞眼下的話題也全在這款自主生產的汽車上。
只是外界的一些紛紛擾擾,此刻都沒法打擾沈永健的工作思緒。
今日的保密研製車間內。
那臺銀色的龐大機器還在由數人連班接力,日夜不停進行測試。
其中套刻精度測試已經在今早完成。
這會兒上午八點多,研發處的同志因昨日收到通知,已早早再度聚在此處。
當照明均勻性測試的最後一組資料在示波器上定格時,屋外沈永健也帶著周克勤等人踏入。
卓邵文才將資料記錄,目光便立刻望向他,乾裂的嘴唇動了動,帶著振奮的沙啞聲線在車間內響起。
“畸變率0.12%,場曲誤差±0.18微米…”
“沈工!畸變與場曲測試,照明均勻性測試皆達標!”
沈永健接過他手中遞來的測試報告資料,一共五項檢測,資料悉數達標,甚至個別幾項還超過了他設計時的理論預期。
在反覆檢測之後,沈永健最終點了點頭。
在眾人希冀的目光下,最終振奮且堅定的開口宣佈道。
“同志們,咱們第二代步進式光刻機,研製完成!”
“依照目前的光刻機效能,絕對是國際第一!”
步進式光刻機,一個劃時代的光刻機。
在眼下國際上還只有接觸式光刻機,甚至發達國家的個別研究所還在用“土光刻機”的背景下。
這臺步進式光刻機,絕對是里程碑式的進步。
代表著國內光刻工藝第一次超越各國,坐上國際第一的位置上!
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