《歸國留洋水貨?叫我芯片之父!》第230章 流片成功!(2)

作者:這肉有毒·27天前

十幾秒的精細調整後,兩個標記完美重合!

“對準完成!鎖定!”

卓邵文的聲音帶著一絲不易察覺的顫抖,額角已滲出汗珠。

“設定曝光劑量…啟動!”

話音落下的瞬間,高強度的汞燈光源再次提亮,經過複雜的光路系統和那個嶄新的高精度物鏡,將掩膜版上的精細圖形按比例縮小,精確地投影到矽片表面的光刻膠上。

被光線照射區域的光刻膠發生化學反應。

整個曝光過程只有幾秒鐘,但紫光透過觀察窗映在眾人臉上,氣氛莊嚴而神聖。

曹文三和曲嵩等人在一旁,下意識地嚥了口口水。

“步進!”

第一個區域曝光完成,工作臺在精密導軌帶動下,精確移動一個晶片的距離,將下一個未曝光的區域移動到鏡頭下。

對準系統再次快速進行區域性微調,然後再次曝光。

如此反覆,直到整片矽片的所有晶片區域都完成這一層圖形的曝光。

張偉森緊盯著控制屏上的進度條,顧江河則緊張地記錄著步驟。

12英寸的晶圓,光是一片步進曝光最終都耗時近一個半小時。

三片晶圓全都完成後,時間早已到了下午一點多。

曝光完成的矽片被吳培書迅速轉移至專用的熱板上進行短暫加熱,以穩定曝光圖形。

之後則被其放入顯影槽進行顯影工作。

一步步的流程之後,最終才進入蝕刻階段。

一直到晚上六點多,三片晶圓的流片工作才結束。

眾人無論是有操作工作的,還是車間內等待的同志,都已經空了一整天肚子。

但這會兒眾人非但不累,反而愈發激動與緊張!

隨著吳培書將蝕刻後剩餘的光刻膠徹底除去,清洗乾淨後的矽片被送到進口的高倍率顯微鏡下。

沈永健此刻已等在此處,調整著顯微鏡的焦距,進行最後的測試工作。

鏡頭在矽片表面緩慢移動,車間裡鴉雀無聲,只能聽到自己的心跳和呼吸聲。

每個人都死死盯著沈永健的背影和他放在目鏡上的手。

卓邵文,顧江海與吳培書等人也已退出操作區,等在邊上同樣大氣不敢出,眼神里滿是期待和忐忑。

時間一分一秒過去,沈永健看得極其仔細,在幾個關鍵區域反覆觀察。

由於低著頭的緣故,眾人雖看不到他表情,但卻能看到他眉頭不時的微蹙。

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