《讓你攻略校花,你卻要當科技教父》第369章 多重曝光技術(1)

作者:我想養只大熊貓·12天前

龍國,魔都。

低調的黑色商務車隊,緩緩駛入了中芯的總部園區。

在辦公大樓前,中芯CEO邱雲、技術研發資深副總裁李序博士等一眾高管,此時都在等待著。

很快,車隊停在中芯門口,安保人員首先下車,隨即車門開啟,許浪穿著一身剪裁合體的深色西裝,神色沉穩地走了出來。

“許總,大基金和裝置商代表已經全部在會議室等候了。”邱雲快步迎上前,一邊側身引路,一邊低聲彙報著近期的裝置除錯和擴建進度。

許浪微微點頭,一邊在眾人的簇擁下朝大樓內走去,一邊言簡意賅地詢問著關於關鍵工藝節點驗證的細節。

很快,一行人穿過嚴密的安保通道,步入了大樓深處一間經過特殊隔音和加密處理的大型會議室內。

此時的會議室內已經坐滿了人,這些人大多穿著筆挺的深色西服或嚴謹的工程師白襯衫,神色肅穆地等待著,不時會相互討論幾句。

下一刻,會議室的大門被突然開啟,在眾人的簇擁下,許浪緩緩地走進了會議室。

現場的眾人瞬間安靜下來,全部轉過頭,目視著這個從會議室門口走進來的年輕人。

在經歷了各種事件後,許浪在網上或許做不到人盡皆知,但在科技圈和金融圈,那說一句人盡皆知也毫無誇大。

邱雲站在許浪身側,指向圓桌兩側的各個席位,快速介紹起現場的行業巨頭:

“許總,這位是主攻浸沒式DUV光刻機總裝與交付的上海微電子賀總;負責等離子體刻蝕裝置的中微半導體尹總;主攻薄膜沉積與刻蝕路線的北方華創趙總;瀋陽芯源微的塗膠顯影專家宗總......”

“還有南大光電的光刻膠研發團隊、長春國科精密的投影物鏡專家、科益虹源的光源系統總工,以及負責物鏡系統與超潔淨流控的國望光學團隊......”

許浪看著這幾乎代表了整個龍國半導體裝置與材料領域半壁江山的人,依舊神情淡定地微微點頭,沒有絲毫露怯。

隨即,在這群平均年齡四五十歲、堪稱龍國半導體產業奠基人的老前輩面前,許浪就這麼神色平靜地直接走向了會議桌正中央的主位。

而這看似滑稽的一幕,卻沒有任何人感到意外,彷彿這個年輕人坐在這個統領全域性的位置上是理所當然的事情。

不過確實如此,在場的眾人資歷確實高,但就許浪目前做出來的種種成績,還有各種科技方向上的突破,現場就沒有一個人不敬佩。

要是許浪都沒資格坐這個位置,或許也找不到幾個人有資格了。

許浪坐在主位上,跟現場的眾人簡單寒暄了幾句後,便直入整個會議的主題。

“各位,其他話我也就不說了,直接進入主題。”

“目前全球半導體的客觀現實擺在這裡,AS的EUV光刻機目前仍處於實驗室階段,即便幾年後正式商用,我們也絕難拿到最新版本,所以我們必須把DUV光刻機的物理極限徹底榨乾。”

“現在不管是英特爾還是臺電,工藝上都是使用193n沒式DUV,這說明我們和世界巨頭用的是同一個世代的工具,中芯與他們的差距不在裝置,而在核心的工藝設計能力。”

說罷,許浪朝著站在一側的林溪微微示意。

林溪會意,抬手划動平板,很快一份特殊的技術資料就被投影到了背後的大螢幕上。

在座的半導體大佬們整齊劃一地轉過頭,視線全部鎖定在了大螢幕上出現的幾行大字上。

“自對準多重曝光技術路線圖”。

許浪看著眾人,快速並且清晰地解釋著。

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