第二天的閉門會議一直持續到了深夜。
在會議結束時,白板上已經寫滿了密密麻麻的結構公式以及各種方程。
相比第一天較易理解的多重曝光,3D晶片堆疊與先進封裝的技術門檻直接高了數倍,哪怕有著許浪對各種細節的指引,現場一眾半導體行業的專家,此時依然聽得一知半解,筆記本上密密麻麻地記錄著各種待驗證難點。
對於現場眾人的疑惑,許浪也沒有更好的辦法,現在的3D晶片堆疊與先進封裝都還處於理論構想階段,哪怕自己有著15點精神力,也只能解決方向上的大問題,對於細節上的疑惑點,還需要這些專家回去慢慢進行實驗驗證。
最終,在眾人依依不捨的目光與討論聲中,第二天的會議才宣告艱難結束。
......
第三天清晨,上午九點整。
如同第二天一樣,當會議室大門被再次推開時,等候在會議室內的專家和負責人們,此時依舊像等待老師上課的學生一樣,齊刷刷地將灼熱的目光投向了門口。
許浪揮了揮手,隨即直接來到自己的位置上,讓林溪將今天的主題投影到了大螢幕上。
很快,螢幕上出現了幾個大字,“國產光刻機研發與突破”。
沒有客套,許浪看向現場的眾人,直接開始了今天的會議主題。
“在會議開始前,首先我們要明確一個事實,想要造出一臺能與AS抗衡的EUV光刻機,光靠砸錢是砸不出來的,光刻機是人類工業製造史上最複雜的精密儀器之一,它需要光學、材料、超精密機械、控制系統等整條底層產業鏈的集體進化。”
“但我們也不必氣餒,雖然這很難,但我有信心帶領大家完成國產光刻機的突破。”
“我們先拆分一下,在物理結構上,EUV光刻機最核心的難點是光源、光學物鏡、雙工件臺。”
隨即,許浪的目光直接看向臺下的哈工大和上海光機所的兩位技術帶頭人。
“從目前我們推演的物理資料和AS的長線開發路徑來看,DPP(放電等離子體)光源路線註定是條死衚衕,功率上限在物理上被鎖死了,根本無法提供量產所需的極紫外光強,所以我們不能再在這條錯誤的路線上浪費寶貴的時間了。”
“從今天開始,哈工大和上海光機所必須全盤放棄DPP路線,將所有研發人員全面轉向LPP(雷射等離子體)路徑的攻堅研發。”
許浪的話剛說完,哈工大和上海光機所的兩位負責人先是一愣,隨即臉色一變。
“許總,這不妥。”上海光機所的專家急聲反駁。
“DPP可是我們聯合攻關了整整三年、燒掉了大量的科研經費,才剛剛摸索出方向,現在突然就說放棄,那我們之前投入的那麼多心血和汗水,那不全都打水漂了嗎?”
面對急紅了眼的科學家,許浪的眼神冰冷而堅決,沒有任何妥協的餘地。
“錯誤的道路無論如何都是錯誤的,走得越遠虧損就越大,放棄沉沒成本是為了不再浪費更多的人力物力,從今天開始,國家大基金和崑崙半導體的後續研發投入只會批給LPP路徑,誰要是對這個決定有疑問,讓他直接來找我。”
雙方就這麼對視著,哈工大和上海光機所的負責人看著許浪那深邃且不容置疑的凌厲眼神,張了張嘴卻什麼都沒說出來,最終還是默默點了點頭。
“除了自主研發,趁著現在燈塔國對我們的警惕還沒那麼深,挖人的動作也要全面提速。”
“派獵頭去燈塔國,針對Cyr公司的核心技術骨幹和高階工程師進行定向挖掘,告訴對方,我們這裡有不設上限的科研經費、有完整的測試流片線,錢不是問題,身份和待遇也不是問題,任何需要出面協調的國際問題,我來協調。”
“對了,挖人的時候隱秘一點,不要引起燈塔國的注意。”
光源研發的問題解決後,許浪看向長春光機所的負責人。
“高精度非球面反光鏡的精密拋光與鍍膜研製交給你們長春光機所了,研發經費方面不用擔心,我會跟大基金溝通的,絕對不會少了你們的。”
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