這是什麼概念？
“如果把這塊鏡子放大到我們大夏一個行省那麼大。”院士用了一個形象的比喻，“那麼這塊大地上最高的山峰或最深的峽谷，起伏絕對不能超過一根頭髮絲的厚度！”
這是真正的原子級平坦。
大夏的能工巧匠們，用離子束拋光技術，在無塵車間裡耗費了數年光陰，才勉強磨出了幾塊合格的鏡片。
而這，還僅僅只是光刻機數萬個精密零件中的冰山一角。
為了防止光線被吸收，整個光刻過程必須在嚴苛的高真空環境中進行。
為了保證套刻精度，承載矽片的機械雙工作臺，在高速移動和剎車時，其定位誤差不能超過幾奈米，這相當於兩列高速行駛的動車並排行駛，誤差不能超過一粒米。
這項被命名為極光的超級工程，幾乎抽乾了大夏近二十年在材料學、流體力學、精密機械加工和光學領域的全部頂尖心血。
……
【神諭紀元·三五二六年】
王都，大夏半導體核心製造基地。
整整二十年的試錯與圖紙迭代。
無數次因為碎屑汙染反射鏡而導致的停機清洗，無數次因為雷射對焦差了微秒而導致的光源熄滅。
今天，一臺猶如一座兩層樓高的小型金屬宮殿般的機器，靜靜地矗立在最高級別的超淨間內。
這便是大夏第一臺真正意義上實現量產突破的極紫外光刻機原型機。
操作檯前，已經滿頭白髮的光學院士，用歲數大太大而忍不住顫抖的手按下了啟動鍵。
真空泵發出低沉的轟鳴，抽乾了腔室內的最後一絲空氣。
液滴發生器開始工作，雷射發生器充能完畢。
“啪！啪！啪！”
雖然在真空室外聽不到聲音，但監視螢幕上的波形圖顯示，那每秒五萬次的微觀核爆正在穩定地產生著珍貴的極紫外光。
光束經過十幾面原子級平滑的反射鏡不斷摺疊、校正，穿過刻有複雜電路圖的掩模版，最終，精準地打在了下方塗有光刻膠的矽片上。
曝光，移動，再曝光。
幾個時辰後，第一批經過EUV光刻機曝光、並完成後續蝕刻與封裝的矽晶圓，被送到了電子顯微鏡下。
所有參與專案的頂尖學者，都屏住呼吸，死死地盯著螢幕上放大的微觀結構。
沒有原本在深紫外光下那種邊緣模糊的衍射現象。
一道道溝壑分明、排列極其規整的電晶體柵極線路，如同神明在大地上犁出的完美溝渠，清晰地展現在眾人眼前。
測算員拿著電子游標卡尺，在螢幕上進行著比對。
“柵極寬度，十八奈米！”
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